連續流探針臺半導體芯片測試設備

　　連續流探針臺半導體芯片測試設備探針臺采用模塊化設計，滿足廣泛的實驗需求，LH-CPX低溫探針臺是德世提供的一款通用高性能設備，出廠時可根據客戶需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據研究人員需要選擇，能滿足絕大多數實驗需求。LH-CPX有多層防輻射罩(液氦和液氮防輻射罩不同)有利于減少熱輻射，確保樣品溫度低于5K (液氦)。安裝多個溫度傳感器，保證溫度測量準確性以及重復性。樣品處于真空環境中，確保一些親水性材料表面不冷凝，選件可實現樣品從制備到測量可處于真空環境中。LH-CPX 可以使用液氮和液氦兩種低溫液體，根據客戶需求出廠時配置好。

　　探針臺原理及應用

　　德世的低溫探針臺為材料早期無損電性能測量提供了一個精準的低溫磁場環境。探針 臺是物理科學家和研究人員對材料研究的有利便捷工具、并且測試測量重復性一致性比較好。 探針臺也可以作為一個靈活多用的公共測試平臺。典型的應用包括不同溫度下普遍的IV 和CV曲線、微波測量、光電響應、電輸運特性、霍爾效應測試以及其他類型的材料研究。

　　德世低溫探針臺提供了眾多的測試環境，可根據研究人員的需要自行選擇對應型號， 以滿足研究人員多樣化的應用需求。從通用平臺到專業平臺，每個德世探針臺都經過精心設計，以確保在整個溫區范圍內穩定運行和可靠的測量。

　　特點

　　低溫液體冷卻樣品臺以及輻射屏，充分利用低溫液體，減少使用成本

　　可以使用液氮或者液氦制冷

　　輻射屏有可視窗，樣品可視化操作

　　多種附件可供選擇

　　德世銷售最多的低溫探針臺

　　可定制最大4in的樣品臺(標配2in)

連續流探針臺半導體芯片測試設備

液氮配置

1.液氮冷卻樣品臺，蒸發后的低溫氮氣冷卻防輻射屏和二級防輻射屏

2. 防輻射屏帶紅外吸收窗口

3. 使用液氮作為冷源

時間參數：

◆抽空時間：0.5h (與泵組相關)

◆降溫時間：液氦從室溫到蕞低溫1.25h, 液氮從室溫到蕞低溫0.5h

◆升溫時間：液氦從蕞低溫到室溫1.25h, 液氮從蕞低溫到室溫0.5h

樣品臺：

◆標準樣品臺：51mm(2in)

◆蕞大樣品臺：102mm(4in)   選配

◆樣品臺背光：無

◆樣品臺類型：三同軸樣品臺(標配)、接地樣品臺(選配)、0.15T 垂直磁場樣品臺(選配)

◆樣品臺旋轉：±5° (選件)

探針：

◆探針數量：蕞多6個

◆探針傳感器：硅二極管(液氦), PT100  (液氮),監視探針溫度

◆探針托溫度：<20K ( 液 氦 ) , <100K (液氮)

◆探針熱沉：熱沉到探針臺或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100Fa

◆微波探針：DC到67GHz，用于微波測量

◆光纖探針：用于光電測量

探針位移 :

◆X方向行程:50mm，移動分辨率3 μm

◆Y方向行程:25mm，移動分辨率5 μm

◆Z方向行程:25mm，移動分辨率5μm

顯微鏡配置

3400萬像素CCD相機

支持HDMI1080P 60/圖像輸出

4條水平線4條垂直線，帶測量軟件

景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源

標準HDMI接口

電子縮放1x-10x

光學倍數0.7-5X

電子倍數20-200x

成像距離140-180mm

景深高度：10mm

觀看面積1mm-18mm

工作距離:37.5mm-160mm

數值孔徑NA:0.018-0.092

分辨率:18.6μm-3.65μm

視場:0.99mm-34.28mm★★

物鏡可選

顯示器尺寸:21.5英寸

制冷劑消耗：

◆室溫到蕞低溫度：10到15L ( 液 氦 ) , 4 到 5L (液氮)

◆液氦消耗(5K):1L/h

◆液氮消耗(80K):0.5L/h

探針臺配置